特長

高分解能観察しながら、そのまま電子ビームで形状測定し、粗さを解析できる電子顕微鏡です。二次電子検出器を4本搭載していることで、極微な凹凸やうねりを確実に確認することが出来ます。また照射電流が小さいことでビームダメージの少ない測定も可能です。